FS-1050SPX,5nm Feedback,SIGMA-KOKI,시그마코키,에스에이치코리아,OPTOSIGMA,나노스테이지,피드백스테이지

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기본 정보
FS-1050SPX 5nm Feedback Stage
상품요약정보	5nm 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다.
판매가	550,000원
국내·해외배송	국내배송
배송방법	택배
배송비	3,500원 (200,000원 이상 구매 시 무료)
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특징

- 5nm 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다.
- FS-UPX 시리즈는, 고토크 타입의 FS-SPX 시리즈에 비해 고속으로 동작합니다.
- 위치의 검출에는 시그마코키사에서 개발한 광학식 리니어 인코더를 스테이지 중앙에 내장하고 있습니다.
- 인코더의 위치 정보를 사용하여 피드백 제어를 하면 목표 위치로의 위치 결정, 반복 위치 결정(위치 재현성), 위치 결정 유지가 고분해능으로 가능합니다.
- 이동량은 20mm, 50mm 두 가지 타입으로 구성되어 있습니다.

상세 사양

Stage Size	120×120mm
Maximum Travel Speed	10μm
Travel	50mm
Positional Repeatability *1	±10nm
Minimum Resolution *1	5nm
Availability	5mm/sec
Weight	1.6㎏
Feed Screw	Ball screw diameter φ6mm, 1mm lead
Load Capacity	98N(10kgf)

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