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기본 정보
NFS60-20PX 10nm Feedback Stage
상품요약정보 10nm 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다.
판매가 4,440,700원
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특징
- 10nm 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다.
- 이동량이 크기 때문에 광범위하게 데이터를 취득하고 싶은 경우나 샘플의 정밀한 위치 결정과 이동을 1대의 스테이지에서 실시하고 싶은 경우에 최적입니다.
- FS-UPX 시리즈는 고속 타입,  FS-SPX 시리즈는 고토크 타입으로 동작합니다.
- 위치의 검출에는 시그마코키사에서 개발한 광학식 리니어 인코더를 스테이지 중앙에 내장하고 있습니다.
- 인코더의 위치 정보를 사용하여 피드백 제어를 하면 목표 위치로의 위치 결정, 반복 위치 결정(위치 재현성), 위치 결정 유지가 고분해능으로 가능합니다.
- 이동량은 20mm, 50mm, 100mm, 150mm, 200mm  다섯 가지 타입으로 구성되어 있습니다. 
상세 사양
Stage MaterialAluminium
Stage Size60x60mm
Backlash1μm
Pitch15″
Moment Stiffness / Pitch0.5″/Ncm
Moment Stiffness / Yaw0.5″/Ncm
Moment Stiffness / Roll0.5″/Ncm
Yaw15″
Lost Motion0.5μm
Positioning Accuracy1μm *2
Positioning SlideCrossed roller
Travel20mm
Positional Repeatability0.5μm *2
Minimum Incremental Motion (reference)30nm
Weight0.5kg
Running Parallelism10μm
Feed ScrewBall screw diameter φ4mm, 1mm lead
Load Capacity49N(5.0kgf)
FinishBlack anodized
Resolution (Full)2μm/pulse *1
Resolution (Half)1μm/pulse *1
Parallelism50μm
Motor / Motor Type5-phase stepping motor 0.35A/phase(Oriental Motor Co., Ltd.)
Motor / Motor Part NumberPK523PMB-C5(□28mm)
Scale Resolution10nm
Micro-range Bi-directional Repeatability±20nm *3
*1 Resolution is automatically set by “AutoConfig” when SHRC controller is connected.
*2 Values when the multi-point error compensation function is enabled.
*3 Micro-range Bi-directional Repeatability is a test to measure repetitive positioning accuracy (ISO) in a micro range. Measurement step for 10 nm feedback stage (NFS-PX series): 50 nm

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