- 투과홀 XY 파인 스테이지 - 디지털 센서를 채택하여 고정밀, 고강성, 하이 스피드를 추구하여 이론 분해능 1nm의 미동을 실현하는 피에조 스테이지입니다. - 액츄에이터에 피에조 소자와 위치 피드백에 디지털 센서를 탑재한 50 × 50mm의 개구부를 가진 초고정밀 위치 결정 투과형 XY 스테이지 - 주로 현미경 하의 시료의 미동에 적합합니다. - 시그마 파인 스테이지용 컨트롤러 FINE-503으로 구동할 수 있습니다. - 컨트롤러가 RS232C, GP-IB(FINE-503만), USB 인터페이스를 지원합니다. - PC에서 계측 및 제어 소프트웨어인 SGEMCS, SGTERM 및 SGSFSX를 사용하여 쉽게 위치를 제어할 수 있습니다. - 각종 현미경의 내장, 정밀 계측, 반도체 검사 장치, 고정밀 마스크 위치 결정, 주사형 간섭계, 화상 처리 장치, 바이오 관련 장치 등의 용도에 매우 적합합니다. - Closed Loop시 이동량은, Open Loop시보다 약 20% 저감됩니다.
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