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기본 정보
TADC-402WSRPA XY Piezo Assist Stage
상품요약정보 메뉴얼 스테이지에 피에조 어시스트 메커니즘을 추가하여 20nm 이하의 미세 조정이 가능한 XY축 스테이지
판매가 1,687,400원
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특징
- 메뉴얼 스테이지에 피에조 어시스트 메커니즘을 추가하여 20nm 이하의 미세 조정이 가능한 X축 스테이지
- 고해상도 위치 조정이 필요한 메뉴얼 스테이지 장치 및 시스템에 적합합니다.
- 스테이지의 크기는 25, 40, 60, 65mm입니다.전용 컨트롤러로 별도의 설정 없이 쉽게 미세 조정이 가능합니다.
- 다이얼 타입의 노브 미세조정은 마이크로미터 헤드와 함께 사용이 가능합니다.
- 피에조 보조 컨트롤러(PASC)를 사용하여 미세 조정이 가능하지만 충격에 주의해야 합니다.
- 전용 컨트롤러의 전원이 꺼지면 피에조 어시스트의 위치 조정이 변경되고 미세 조정을 위한 위치가 변경됩니다.
상세 사양
Stage Size40×40mm
Orthogonality10μm
Piezo resolution<20nm
Micrometer Readable Resolution0.01mm
Micrometer PositionSide
Moment Stiffness / Pitch1.22″/Ncm
Moment Stiffness / Roll1.22″/Ncm
Guide MethodExtended Contact Ball Bearing Guide
Travel Accuracy / Straightness3μm
Running Parallelism20μm
Lead of Actuator0.5mm
Max. Moment Capacity / Pitch2.5Nm
Max. Moment Capacity / Yaw2.5Nm
Max. Moment Capacity / Roll2.5Nm
Weight0.32kg
Primary materialAluminum
Travel of Coarse Drive±6.5mm
Load Capacity49N(5kgf)
Travel of Fine Drive>30μm
FinishBlack anodized
Parallelism50μm


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