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기본 정보
VPDM-13ACT 진공 피에조 액추에이터
상품요약정보 마이크로미터와 장착 호환성이 있는 고진공 체임버 장치 내에서 원격 조작이 가능한 고분해능, 소형 액튜에이터입니다.
판매가 100,000원
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특징
- 장착 생크 직경은 φ9.5mm 표준 타입과 φ6mm 소형 타입 2종류가 준비되어 있습니다.
- 액추에이터의 끝모양이 평면 타입(VPDM-**ACT)과 구 타입(VPDM-**ACTR)이 준비되어 있습니다.
- 동작에는, 피에조 드라이브 전용 컨트롤러(PDM-ID-02)를 사용해야 합니다.
- 액추에이터에서는 리드선이 나와 있어, 챔버의 단자에 연결하거나 리드선을 밖으로 끌어내어 사용합니다.
- 피에조 드라이브 액튜에이터에는 이 리드선과 접속하기 위한 컨트롤러 전용 접속 케이블(1m)이 부속되어 있습니다.
- 액추에이터 본체의 추종성 향상을 위해 적당한 하중(3N 이상 권장)을 설정하십시오.
- 본 제품은, 압전 소자를 이용한 관성에 의해 구동하기 때문에, 위치 결정 등은 정밀도가 없습니다.
- 개체 차이, 액추에이터 이송 방향에 따라 속도 및 최소 이동량에 편차가 생기니  양해 부탁드립니다.
- 소유하신 수동 스테이지와 조합을 할 경우에는, 별도로 추가비용이 발생할 수 있으니, 문의해 주십시오.

상세 사양

Tip ShapeFlat type
Max Speed1.5mm/min
Thrust Force29.4N
Minimum travel<20nm
Weight0.05kg
Travel>13mm (Max. 13mm)

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