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기본 정보
VSGSP26-200(X) 진공 소형 자동 스테이지
상품요약정보 진공 환경에 대응한 리미트 센서를 탑재한 자동 스테이지입니다.
판매가 10,150,800원
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특징
- 35~200mm의 롱 스트로크를 실현하여, 기존의 SGSP시리즈와 동일하게 콤팩트화를 실현했습니다.

상세 사양

ModelVSGSP26-200(X)
MAX Speed20mm/sec
Positional Repeatability10μm
Axes of TravelX Axis
Stage MaterialAluminium
Censer typeGN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.)
Sensor Part NumberGN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.)
Stage Size80×80mm
Resolution (Half)1μm/pulse
Resolution (Full)4μm/pulse
Limit SensorVacuum touch sensor (NORMAL CLOSE)
Lost Motion10μm
Positioning SlideCrossed roller
Travel200mm
Proximity Origin SensorNone
Origin SensorNone
Minimum Incremental Motion (refurence)0.2μm
Weight2.5kg
Feed ScrewPrecision ground screw φ4mm, 0.5mm lead
Load Capacity29.4N(3.0kgf)
FinishNone
Resolution (Full)0.5μm/pulse
Resolution (Half)2μm/pulse

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  - 시간의 경과에 의하여 재판매가 곤란할 정도로 재화등의 가치가 현저히 감소한 경우
  - 복제가 가능한 재화등의 포장을 훼손한 경우
  - 개별 주문 생산되는 재화 등 청약철회시 판매자에게 회복할 수 없는 피해가 예상되어 소비자의 사전 동의를 얻은 경우
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